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全自動晶圓探針臺SKD3000

全自動晶圓探針臺SKD3000是一款用于8/12inch LSI（大規(guī)模集成電路）和VLSI（超大規(guī)模集成電路）晶圓測試的探針臺。

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產(chǎn)品描述

概述：

全自動晶圓探針臺SKD3000是一款用于8/12inch LSI（大規(guī)模集成電路）和VLSI（超大規(guī)模集成電路）晶圓測試的探針臺。

 

優(yōu)點(diǎn)特點(diǎn)：

1、高精度探針臺測試主體的X/Y軸的絕對定位精度可達(dá)±2μm；

2、高剛性Z/θ軸能實(shí)現(xiàn)Chuck長時(shí)間穩(wěn)定測試；

3、提供自動上料功能，擁有探針與Pad自動對位功能。采用獨(dú)立的光學(xué)系統(tǒng)使探針卡上所有的針尖能夠自動精準(zhǔn)地扎在相應(yīng)的Pad上；

4、設(shè)備參數(shù)和運(yùn)行狀態(tài)信息等數(shù)據(jù)可以自由發(fā)送或接收到硬盤和外部計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，方便實(shí)時(shí)查看和追溯分析。

 

參數(shù)規(guī)格：

序號 項(xiàng)目 內(nèi)容 備注
1 機(jī)臺尺寸及重量 尺寸（L*W*H） 1590*1620*1460mm  
2 重量 約2.2T  
3 晶圓尺寸規(guī)格 晶圓直徑 8"/12"  
4 晶圓厚度 150~2200μm  
5 厚度偏差 ≤±50μm  
6 Die尺寸 0.2~100mm  
7 測試方向 測試順序 X/Y方向連續(xù)探測  
8

θ

 可調(diào)節(jié)范圍 ±5°  
9 分辨率 0.00007°  
10 X/Y軸 精度 ≤±2μm  
11 最大速度 250mm/s  
12 探測行程 ≥±160mm  
13 分辨率 0.1μm  
14 Z軸 精度 ≤±2μm  
15 最大速度 50mm/s  
16 行程 ≥80mm  
17 分辨率 0.1μm  
18 OD范圍 0~500μm  
19 Index Time 循環(huán)時(shí)間 230ms（6mm以內(nèi)的Die Z升降0.5mm）  
20 預(yù)對準(zhǔn) 精準(zhǔn)度 角度≤±0.5°，中心位置≤0.2mm  
21 觸摸屏 規(guī)格 15Inch五線電阻式  
22 大電流測試 電流范圍 0~800A 選配
23 高壓測試 電壓范圍 0~3000V 選配
24 高低溫測試 溫度范圍 -60~200℃ 選配
25 控溫精度 ±0.1℃
26 溫度穩(wěn)定性 0.1℃
27 溫度均勻性 ≤100°C時(shí)≤+0.5°C
＞100°C時(shí)＜+0.5%

 

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