產(chǎn)品描述
1:更高精度---±10μm/±0.2°@3σ。
2:更智能---基島、膠點(diǎn)、固前、固后、晶片雙面自動(dòng)檢測(cè)。
3:更高效率---UPH up to 3K/H。
4: Wafer---12"兼容8"。
5: Mapping---支持單bin及多bin， 自動(dòng)記憶參考點(diǎn)、自動(dòng)搜索起點(diǎn)。
|6: LF---寬度35 ~ 100mm、 長(zhǎng)180~ 300mm、厚0.1-3.0mm。
7: 數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)---生產(chǎn)信息、統(tǒng)計(jì)信息、CPK分析。
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