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SKD2000 全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)

適用：6inch、8inch,LSI(大規(guī)模集成電路)和VLSI(超大規(guī)模集成電路)等晶圓測(cè)試。

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產(chǎn)品描述

適用范圍：

適用于6inch、8inch,LSI(大規(guī)模集成電路)和VLSI(超大規(guī)模集成電路)等晶圓測(cè)試。

 

參數(shù)規(guī)格：

序號(hào) 項(xiàng)目 內(nèi)容 備注
1 晶圓尺寸規(guī)格 晶圓直徑 6/8寸  
2 晶圓厚度 150~1000μm  
3 厚度偏差 ≤+50μm  
4 Die尺寸 0.25~100mm  
5 Index Time 循環(huán)時(shí)間 230ms(Die≤5mm)  
6 X/Y軸 精度 ≤+2μm  
7 最大速度 250mm/s  
8 探測(cè)行程 ≥±120mm  
9 分辨率 0.1μm  
10 Z軸 精度 ≤+2μm  
11 最大速度 50mm/s  
12 行程 ≥47mm  
13 分辨率 0.1μm  
14 θ 可調(diào)節(jié)范圍 ±5°  
15 分辨率 0.00007°  
16 廠務(wù)要求 電壓 AC 220V 50/60Hz  
17 CDA 0.6~0.8MPa 管徑ф8  
18 真空氣源 -80~-100KPa 管徑ф6  
19 整機(jī) 尺寸(L*W*H) 1370*1475*1300mm  
20 重量 1500Kg  
21 大電流測(cè)試 電流范圍 0~800A 選配
22 高壓測(cè)試 電壓范圍 0~3000V 選配
23 高低溫測(cè)試 溫度范圍 -60~200℃ 選配
24 控溫精度 ±0.1℃
25 溫度穩(wěn)定性 0.1℃
26 溫度均勻性

≤100℃時(shí)≤+0.5℃

>100℃時(shí)<±0.5%

 

 

 

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