UM定位工作臺系列
UM對位平臺采用DXM無槽直線電機/及盤式DDR為動力，利用交叉滾子導(dǎo)軌與軸還做導(dǎo)向，內(nèi)置高分辨率光柵，實現(xiàn)XYO三軸聯(lián)動。是理想的測量儀器和檢測設(shè)備的定位機構(gòu)，可用于諸如半導(dǎo)體/液晶相關(guān)制造設(shè)備和清潔環(huán)境下的圖象對準處理。
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產(chǎn)品描述
UM定位工作臺系列介紹
UM120
外形尺寸
技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù) | UM120-01X01YR-3 | ||
|---|---|---|---|
| X | Y | R | |
| 峰值推力（扭矩） | 80N | 80N | 2.0 N.m |
| 連續(xù)推力（扭矩） | 15N | 15N | 0.4 N.m |
| 最大可搬運質(zhì)量 | 5.9Kg | 5.9Kg | 6.8Kg |
| 有效行程（角度） | 20mm | 20mm | 60° |
| 分辨率 | 0.1um | 0.1um | 0.36角秒 |
| 最大速度 | 400mm/s | 400mm/s | 400°/s |
| 重復(fù)定位精度 | ±0.5um | ±0.5um | ±0.8角秒 |
UM200
外形尺寸
技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù) | UM200-01X01YR-3 | ||
|---|---|---|---|
| X | Y | R | |
| 峰值推力（扭矩） | 400N | 400N | 4.0 N.m |
| 連續(xù)推力（扭矩） | 70N | 70N | 1.2 N.m |
| 最大可搬運質(zhì)量 | 30Kg | 30Kg | 12.3Kg |
| 有效行程（角度） | 25mm | 25mm | 280° |
| 分辨率 | 0.1um | 0.1um | 0.25角秒 |
| 最大速度 | 400mm/s | 400mm/s | 270°/s |
| 重復(fù)定位精度 | ±0.5um | ±0.5um | ±0.5角秒 |
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