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如何定義探針臺(tái)？探針臺(tái)的工作原理是什么？
2024-07-09 10:01
探針臺(tái)是一種在半導(dǎo)體研發(fā)和制造過(guò)程中，用于檢測(cè)晶圓和電子元件電氣特性的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于芯片、材料領(lǐng)域研發(fā)和檢測(cè)復(fù)雜高速器件的精密電氣測(cè)量，旨在保證質(zhì)量和可靠性，降低研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本，多用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路和封裝測(cè)試行業(yè)。
探針臺(tái)的工作原理是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，通過(guò)將探針與被測(cè)元件的引腳接觸，使元件與測(cè)試儀表連接，將測(cè)試信號(hào)從儀表發(fā)送到被測(cè)晶圓上的各個(gè)器件，并獲取各個(gè)器件的信號(hào)反饋，通過(guò)收集這些信號(hào)來(lái)測(cè)試芯片的各種電氣特性，比如IV、CV、RF等。
探針臺(tái)的主要組成部分包括探針臺(tái)臺(tái)體、顯微鏡光學(xué)顯示系統(tǒng)、探針夾具測(cè)試組件三部分，各組成部分根據(jù)測(cè)試要求選擇不同的配置?？偟膩?lái)說(shuō)，探針臺(tái)在半導(dǎo)體制造和研發(fā)領(lǐng)域扮演著重要的角色，其精度和性能對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量有著直接的影響。
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